(I)纳米TiO2光催化降解原理
具有纳米半导体粒子的量子尺寸效应使其导带和价带能级变为三能级，能隙变宽，导带变负，而价带带宽变得更正，即在光催化作用下具有很强的氧化／还原能力，从而提高了其光催化活性。
(2)紫外光催化降解VOCs原理
在高能高臭氧UV紫外光束的照射下，有机废气分解空气中的氧分子，产生自由氧，即活性氧，由于自由氧携带的正负电子不平衡，因此需要与氧分子结合，从而产生臭氧。由于得到了复合离子光子的能量，臭氧在紫外条件下可以极快地分解，分解后产生更多的氧化自由基，如0,OH,H20等。OH,H20与恶臭气体发生了一系列协同、连锁反应，恶臭气体***终被氧化降解为低分子物质，水和二氧化碳，从而达到***终的除臭目的。
（3）低温等离子体涂装有机废气降解原理
低温等离子体的净化机制包括两个方面：一是在产生等离子体的过程中，由高频放电产生的瞬时高能量，足以打开某些有害气体分子内部的化学键，将其分解成单质原子或无害分子；二是在等离子体中，含有大量高能电子，正、负离子，激发态粒子，以及具有强氧化性的自由基，这些活性粒子与部分臭气分子碰撞碰撞而结合，在电场作用下，使臭气分子进入激发态。在臭气分子获得的能量大于其分子键能结合能的情况下，它的化学键会断裂，直接分解为单质原子或由单原子组成的无害气体分子。大量的OH，-HO2，-O等活性自由基和氧化能力极强的O3同时与有害气体分子发生化学反应，***终形成无害的产物。
（4）等离子一体机协同降解有机废气原理
总结：光氧催化等离子一体机联合处理有机废气，充分发挥各自的优点。能很好的去除恶臭气体，使用中避免高温环境，也不要和电厂一起使用，有爆炸风险。
该技术节能、环保，应用范围广，所有化工生产环节产生的恶臭异味几乎都可以处理，并对二恶英有良好的分解效果。
等离子体工业废气处理技术已研制出标准化废气治理设备，利用所产生的高能电子、自由基等活性粒子激活、电离、裂解工业废气中的各组成份，使之发生分解，氧化等一些列复杂的化学反应，再经过多级净化，从而消除各种污染源排放的异味、臭味污染物，使有毒有害气体达到低毒化、无毒化，保护人类生存环境。
